10.3969/j.issn.1000-1298.2010.05.040
基于模态叠加法的静电微泵吸合现象
利用数值计算和模态叠加法建立了静电致动泵膜的降阶模型,使复杂的吸合过程求解简单化.通过与已有文献中的结果和三维有限元计算值的比较,表明降阶模型能减少求解时间并且具有很高的精度.利用降阶模型参数化研究了残余应力、泵膜厚度、泵膜半径、极板初始间隙对泵膜吸合电压和吸合位置的影响,得到了泵膜设计的准则,为静电微泵的优化设计提供理论基础.
微泵、吸合、静电、模态叠加、降阶模型
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TH703;TN405(仪器、仪表)
国家自然科学基金资助项目50475104;浙江省自然科学基金重点资助项目Z106519
2010-06-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
198-203