纳米磁悬浮二维工作台力平衡结构设计

摘要：

为了消除附加力矩对纳米磁悬浮二维工作台平稳直线运动的影响,研究了工作台的磁力、重力及摩擦力等各种作用力.基于力平衡原理对纳米工作台进行了结构设计,得到了纳米电动机驱动力的作用方向和作用点坐标.在此基础上进行了工作台运动导轨直线度及重复性实验,结果表明,工作台的偏摆误差在5″以下,俯仰误差在15″以下,两种误差每毫米点的重复性均在1″左右,工作台运动平稳.

关键词：力平衡设计、磁浮力、纳米工作台

所属期刊栏目：40

分类号：TH703.65(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50420120134

在线出版日期：2009-11-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：197-200