流体环境中静电微悬臂梁的多场耦合仿真分析

摘要：

微器件动力学特性通常受到周围粘性流体阻尼的强烈影响,在器件优化设计中,需要建立静电-结构-流体三场耦合模型才能细致考虑这些影响.为研究微开关在粘性流体介质中的动/静态特性和流体阻尼,建立以Navier-Stokes方程描述流体特性的静电微开关模型并进行数值分析;与相关文献结果比较验证了计算的正确性;得到了空气和去离子水介质中微开关的静/动态闭合电压、不同阶跃电压驱动下的闭合特性和流体阻尼力分布的情况.分析认为,微开关动/静态闭合电压的差异在介质粘性较大环境中较小,而在介质粘性较小环境中较大.

关键词：静电致动器、流固耦合、数值仿真、微机电系统

所属期刊栏目：40

分类号：TH703.8;TN402(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50475104;浙江省自然科学基金重点项目Z106519;福建省教育厅资助项目JB07007

在线出版日期：2009-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：203-207