基于显微视觉的宏/微双驱动微动台系统

摘要：

提出了基于PZT的宏/微双重驱动精密定位机构,采用混合式步进电动机直接驱动宏动平台,实现系统大行程微米级精度定位,安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动微动平台,实现纳米级的分辨率和定位精度,以高频响动态补偿系统的定位误差.采用显微视觉反馈控制微动台的移动和定位,实现定位机构的全闭环反馈控制.同时提出了带运动规划和估算的运动控制策略,提高了系统的运行速度.实验研究表明:系统的动态和稳定性能良好,该微动台的最大行程80 mm,定位精度1μm.

关键词：宏/微双重驱动、精密定位、显微视觉、运动规划

所属期刊栏目：39

分类号：TP242(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金50735002

在线出版日期：2008-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：125-129,174