10.3969/j.issn.1000-1298.2007.03.038
液流悬浮超光滑纳米加工试验
建立了超光滑表面加工的液流悬浮加工系统,并简述了液流悬浮超光滑加工系统及其工作原理.试验实现了光学材料k9玻璃的亚微米去除,并在其表面上获得了纳米级的超光滑表面.试验结果表明,采用液流悬浮加工技术对光学材料进行超光滑加工是一种有效方法.
超光滑加工、液流悬浮、亚微米去除
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TG669
国家自然科学基金50175049
2007-04-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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