一体化微操作器误差分析与建模

摘要：

为评价各种误差对微操作器精度的影响,以一体化超精密微操作器为研究对象,分析了加工误差、机构原理误差、测量误差、环境带来的误差以及驱动误差等造成微操作器精度降低的因素,建立了加工误差的偏微分方程解析模型,并用有限元仿真验证了加工误差模型的准确性.在详细分析误差源的基础上,提出了提高微操作器精度的措施.

关键词：微操作器、误差分析、柔性铰链、压电陶瓷

所属期刊栏目：38

分类号：TH7(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金50205025;浙江省自然科学基金502021

在线出版日期：2007-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：136-140