基于AFM的微机械表面抗粘附薄膜性能

摘要：

用原子力显微镜(AFM)考察施加OTS分子润滑膜前后Si(100)表面的粘附、摩擦性能,并对比了空气相对湿度、扫描速度对粘附、摩擦性能的影响效果.结果表明,施加OTS膜后可以有效降低Si(100)表面粘附力和摩擦系数,呈现较好的润滑性能,且受空气相对湿度变化的影响较小.另外,适当提高扫描探针扫描速度,可以改善Si(100)表面和OTS膜表面摩擦性能,降低摩擦力.

关键词：OTS薄膜、粘附、微机电系统、原子力显微镜

所属期刊栏目：37

分类号：U4(公路运输)

资助基金：教育部跨世纪优秀人才培养计划NCET-04-0515

在线出版日期：2007-01-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：182-184,154