基于MEMS技术的超微压压力传感器研究进展

摘要：

针对国内外在硅微型压阻式压力传感器上的研究进展和产业化情况,从复合弹性元件的设计、芯片微加工工艺、芯片无应力封装和后期动静态标定等方面指出了其深入研究方向,以及产业化存在的问题和相应的对策.

关键词：超微压压力传感器、微机电系统、无应力封装、综述

所属期刊栏目：37

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：浙江省科技计划2005C31048;江苏省镇江市产学研基金;江苏大学校科研和教改项目

在线出版日期：2006-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：157-159