新型压电-流体混合驱动精密位移机构

摘要：

提出一种新型压电驱动精密位移机构,着重介绍了其结构、工作原理和控制方法,分析了机构参数与输出性能之间的关系.该机构以压电叠堆为动力元件驱动流体,利用换向阀控制流体流向,通过执行缸两个腔体内流体置换的方法将压电叠堆的往复振动转换成执行缸的直线运动.调整电压或执行缸的参数可获得所需的进给步长和输出推力,具有精度高、易于控制、稳定性好等特点,适用于微位移以及较大行程范围内的精密进给运动.

关键词：压电驱动器、精密驱动、定位机构、直线运动

所属期刊栏目：36

分类号：TH703.8(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA431250

在线出版日期：2005-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：51-53,60