有阀压电薄膜泵性能研究

摘要：

分析了腔体容积和阀的结构对压电泵最佳工作频率的影响,提出了小腔体、复合阀结构的压电薄膜泵设计观点.实验结果表明,采用较小的腔体体积(腔体压缩比足够大)和复合阀结构,可使压电泵最佳工作频率增加,同时使压电泵具有较强的自吸能力和抗气泡干扰能力.在无负载时对应流量的最佳工作频率为50 Hz,随负载增加相应减小;对应输出压力的最佳工作频率为20 Hz.在输入电压80 V、工作频率20 Hz时,压电泵最大自吸压力为2.5 kPa,在输出压力小于3.0 kPa时,进入腔体内的气泡可自行排出.

关键词：压电泵、复合阀、压电振子、空化

所属期刊栏目：34

分类号：TH137.33

资助基金：国家自然科学基金59975040

在线出版日期：2003-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：84-87