非晶硅太阳电池生产中沉积SnO2膜的均匀性

摘要：

介绍了用化学气相法沉积大面积SnO2透明导电膜的原理和方法。通过沉积器具和工艺的改进，提高了大面积SnO2膜方块电阻和光透过率的均匀性。讨论了SnO2膜均匀性对非晶硅太阳电池的影响。

关键词：SnO2、非晶硅、太阳电池

分类号：TM91

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：7-8