半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试及污染源分析

摘要：

以我国某新建的半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试结果为例,利用长期在线检测和现场实测相结合的方法,完成了从建造到洁净室空态运行的全过程测试,分析了安装化学过滤器前后、洁净室运行前室内气态化学污染状况的变化情况及环境控制效果.并对比了室外空气环境及运行前后污染物种类的不同,确定了洁净室不同气态化学污染物的污染源信息.测试发现,新风机组的化学过滤器实际去除效率仅仅达到50％,无法满足规范中70％的要求.而微电子洁净室的酸性污染物主要来自于室外空气,氨气浓度较高,来源于室外空气和水泥等建筑材料;凝结物的污染源主要是室内源,来自室内的装修材料、清洗剂及生产工艺材料.

关键词：洁净室、在线监测、污染源分析、气态化学污染物、化学过滤器

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资助基金：国家重点研发计划项目“洁净空调厂房的节能设计与关键技术设备研究”编号:2018YFC0705203

在线出版日期：2021-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：46-50