论集成电路厂房工艺排风的本地处理

摘要：

在集成电路厂房产品制造过程中会产生有毒有害的工艺废气.由于制造工艺复杂,使用的气体与化学品种类多样,仅使用集中废气处理设备无法高效地去除废气中的各种有害成分.结合工程实例,介绍了集成电路厂房工艺排风本地处理设备的作用、分类、工作原理与选用.采样分析结果表明,设备运行稳定,废气去除效率均高于90％.

关键词：集成电路、工艺排风、本地处理设备、集中处理、洗涤塔

所属期刊栏目：47

分类号：TN4;TH1

在线出版日期：2017-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：92-95