洁净室气密性检测方法研究——国标《洁净室施工及验收规范》编制组研讨系列课题之八

摘要：

分析了在正、负压洁净室进行洁净室气密性验证的重要性,对洁净室气密性相关问题进行了理论计算,给出了具体检测方法,并进行了实验研究.结果表明,一个密封很好的洁净室,500 Pa压力的半衰期不足5 min,小时泄漏率不到10%.

关键词：洁净室、气密性、压力衰减、半衰期、小时泄漏率

所属期刊栏目：38

分类号：TB4;U46

在线出版日期：2009-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-6