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洁净厂房温度异常处理

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某合资集成电路工厂,洁净厂房上下两层共计24000m2,冷水通过总管分4段供应各区域,洁净厂房内作业室温度23±1℃,回风经冷却盘管,与新风机组内新风混合,通过风机及高效过滤器进入作业区,经过有孔地板再进入冷冻盘管;用力室温度23±2℃,回风与部分作业室回风混合,经空调箱处理通过高效过滤器进入用力室,经过有孔地板再进入空调箱。某日21:00某段区域温度普遍上升,并触发报警,各空调箱和冷冻盘管;供水电动阀开度100%,检查空调动力设备及监视系统,无异常情况,并采取以下措施:①冷水系统首先确认该系统参数正常,提高送回水压差,由0.26MPa上升到0.36 MPa,二次泵出口压力达到0.88 MPa,温度降了下来,维持一星期后,温度又普遍上升,再增大压差对管道及动力设备安全性有影响。②新风机组送风温度降低洁净厂房新风机共6台,将该段新风温度由23℃降到18℃,露点温度由10℃降到9℃,风机频率变化不大,仅维持两天。③拆换过滤器通过对空调箱和冷却盘管的检查,发现放气管总有不凝性气体,若常开,温度会下降。拆换不锈钢Y型过滤器,发现其内壁结了厚厚的棕红色污泥杂质;清洗后,系统参数全部恢复。从这件事中得出以下体会:①Y型过滤器需定期拆洗。②冷水补水应采用纯水。③冷水若使用自来水补水,应加药杀菌、除垢,并经常排污。201200 上海浦东川沙镇新得二村 贾龙斌

洁净厂房、温度降、高效过滤器、空调箱、新风机组、系统参数、冷却盘管、冷水系统、动力设备、作业室、集成电路工厂、回风、不凝性气体、压差、区域温度、频率变化、露点温度、冷冻、检查、监视系统

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TU8(房屋建筑设备)

2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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