测量透明薄膜表面三维轮廓的新型白光干涉法

摘要：

基于新型的峰值分离算法,提出了白光干涉法(垂直扫描白光测量法)的一种新的应用--测量覆盖透明薄膜的物体表面的三维轮廓,并同时测量出透明薄膜的三维轮廓和厚度信息,克服了传统光学非接触测量的缺点,拓展了白光干涉法的应用领域.这一技术可用于检测光学厚度约为1μm或以上的透明薄膜,可广泛有效的应用于半导体和LCD加工制造等需要精细测量的领域.

关键词：应用光学、白光干涉测量、表面三维轮廓、透明薄膜

所属期刊栏目：26

分类号：O439(光学)

在线出版日期：2006-12-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：86-90