10.3969/j.issn.1003-6989(x).2019.02.257
浅谈多晶硅生产维护中屏蔽泵的使用
屏蔽泵是一种机电一体化产品,利用输送介质作为循环液来冷却电机并润滑轴承,以其绝对无泄漏性广泛应用于国民经济各个领域.人们所能使用的能源日趋减少,而多晶硅作为一种新能源,已经渐渐成为被开发及利用的重要能源.笔者根据自己的经验对多晶硅生产维护中屏蔽泵的使用进行分析.
多晶硅、生产、屏蔽泵
TH132.425;TP391.9;F426.61
2019-04-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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