Pt/Pt(111)薄膜生长的计算机模拟研究

摘要：

以Pt/Pt(111)薄膜生长为例,建立一个包含更为细致的原子扩散过程的模型,采用蒙特卡洛模拟方法研究了不同覆盖率,不同温度下(111)面上外延生长早期阶段的原子聚集行为,得到了一系列分形状薄膜的形貌.计算表明,用来描述枝杆平均宽度的原子的平均最近邻配位数随温度的升高而增加,与扫描隧道电镜实验测量的结果一致.同时,还研究了原子沉积过程中沉积速率的大小对薄膜生长的影响.

关键词：表面形貌、原子扩散、最近邻配位数、沉积速率

所属期刊栏目：37

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金19604006

在线出版日期：2008-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：502-507