气体质量控制器在薄膜气相沉积中的应用研究
本文主要介绍了气体质量控制器的原理、结构,说明其在薄膜气相沉积应用中的标定、转换系数计算等问题,重点研究了一种质量流量计在挥发气体控制中恒温控制系统,给出了系统机构原理图,说明了质量控制器的改进及发展方向.
在半导体器件工艺中,薄膜的沉积是一项非常重要的工作,通过气体成分的改变对沉积成膜的特性加以改变和影响,可以极大地提高成膜质量,改善薄膜的特性.为实现这一目的,各种类气体的质量流量检测及控制最为关键.本文通过研究在气体沉积过程中,气体质量流量控制的原理及改进,可以达到改善薄膜的沉积质量,提升成膜特性的目的.
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2019-07-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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