变刚度微纳测头的结构设计与性能分析

摘要：

随着微电子机械系统技术的发展,微纳米测量装置已广泛用于机械工程、光学工程等领域[1].由于工件尺寸较小,为避免测量时对工件的破坏,要求测头支撑机构具有较低的刚度,但当测头离开工件表面时又要求测头支撑机构具有较高的刚度[2],因此研究变刚度微纳测头具有重要的意义.

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在线出版日期：2018-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：34,81