微电子技术发展方向刍议

摘要：

本文介绍了目前微电子技术的发展水平,并提出今后技术的发展仍以硅为主流工艺、向系统级芯片和与其他学科相结合的发展趋势,并详细论述了砷化镓、磷化铟、碳化硅、氮化镓等非硅材料的发展情况.

关键词：微电子技术、集成电路、技术趋势

所属期刊栏目：28

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2007-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：120,190