基于SMA驱动的吸附机构负压模型

摘要：

为了克服MEMS吸附机构不易微小化的缺点,采用形状记忆合金(SMA)驱动的刚弹性耦合偏动式负压吸附机构模型,该吸附机构的多腔体负压模型包含SMA弹性体板力学模型、理想状态下的密闭腔气体负压模型等环节,质量轻、结构简单,产生负压较快,并具有一定的吸附能力,可以作为MEMS的吸附机构,也为微小负压吸附机构的后续研究奠定了一定的理论基础.

关键词：形状记忆合金、驱动、吸附机构、负压、模型

所属期刊栏目：36

分类号：TP24(自动化技术及设备)

资助基金：南昌工程学院青年基金科技项目2014KJ014

在线出版日期：2018-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：100-104