MEMS低功耗催化甲烷传感器脉冲供电研究

摘要：

针对传统催化甲烷传感器功耗高的问题,在分析微型机电系统(MEMS)低功耗催化甲烷元件性能的基础上,提出脉冲供电工作方式.通过输出稳定性测试和灵敏度测试确定脉冲供电具体占空比,并对恒压供电和脉冲供电下元件的线性特性、零点温度特性、灵敏度特性、零点漂移及灵敏度漂移进行了测试.结果表明,脉冲供电工作方式不仅可极大地降低MEMS催化甲烷传感器的功耗,而且在零点漂移和灵敏度方面拥有更加优异的性能.

关键词：甲烷传感器、微型机电系统、脉冲供电、载体催化、MEMS催化元件、低功耗

所属期刊栏目：44

分类号：TD712.55(矿山安全与劳动保护)

资助基金：重庆市本科高校“三特行动计划”特色专业建设项目渝教高[2015]69号

在线出版日期：2018-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：27-31