10.13272/j.issn.1671-251x.2016.04.011
基于MEMS技术的载体催化甲烷检测元件制作方法
在分析载体催化甲烷检测原理的基础上,提出采用先进的微机电系统(Microelectro Mechanical System,MEMS)技术对传统载体催化甲烷检测元件的制作方法进行改进,给出了具体的元件制作流程,并对元件的性能进行了测试.测试结果表明,基于MEMS技术的裁体催化甲烷检测元件较传统载体催化甲烷检测元件在功耗、抗中毒、一致性等方面有明显改善.
甲烷检测、载体催化检测、微机电系统、MEMS
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TD712.55(矿山安全与劳动保护)
重庆市煤监局煤炭发展专项资金资助项目渝煤[2014]-kj-09;中国煤炭科T集团有限公司科技创新基金面上项目2014MS025.
2016-08-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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