基于微环谐振器的甲烷传感器

摘要：

提出了一种新型的基于微环谐振器的甲烷传感器.该传感器通过微环表层的穴番A涂层来增加微环的有效折射率,使微环谐振器中谐振波长随甲烷浓度的增加而向右漂移;通过测量输出光信号的谐振波长推算出甲烷浓度.理论分析结果表明,该传感器的谐振波长变化范围在一个自由光谱范围内,甲烷浓度测量范围为0～15％;对比SOI材料和聚合物材料、单面敏感膜和三面敏感膜的测量结果,得出聚合物材料三面敏感膜微环的谐振波长变化幅度较大,测量灵敏度为60 pm.

关键词：甲烷传感器、甲烷浓度测量、微环谐振器、敏感膜

所属期刊栏目：42

分类号：TD712.55(矿山安全与劳动保护)

资助基金：国家自然科学基金资助项目U1261125;北京市教育委员会创新团队建设提升计划资助项目IDHT20130511.

在线出版日期：2016-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：34-38