氧分压对TiO2膜结构与光学性质的影响

摘要：

报道了用反应溅射法制备TiO2膜的实验研究.详细研究了膜的沉积、膜结构及其光学性质,随溅射氧分压的变化.随氧分压由6×10-2 Pa增加到9×10-2 Pa时,晶体结构由金红石变到锐钛矿,氧分压超过9×10-2 Pa时趋向于无定形结构.与膜结构密切相关的折射率n随氧分压的增大由2.44变到1.96,禁带宽度Eg则由大变小,然后再增大的变化(3.41→3.26→3.42).

关键词：反应溅射、TiO2薄膜、氧分压、折射率、禁带宽度

所属期刊栏目：22

分类号：O48;TQ028(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金委员会和中国节能投资公司联合资助项目20000412

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：29-34