10.12147/j.cnki.1671-3508.2021.04.019
大面积金属网板模具的制造
利用UV-LIGA工艺制造了一款总体尺寸为60×60mm×300μm、深宽比为6、开孔率高达93%的金属镍网板模具.该网板具有面积大、厚度大及开孔率高等特点.在电铸过程中,为降低大面积网板铸层中的残余应力,采用了兆声辅助微电铸的方法.去胶释放后微细网板结构未出现翘曲变形、分层等问题,满足使用要求.本文研究表明:兆声辅助微电铸方法是制造大面积、大厚度、低应力金属微器件的一种有效方法.
金属网板、UV-LIGA、兆声辅助、残余应力、微电铸
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TG659
国家自然科学基金51975103
2021-05-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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