大面积金属网板模具的制造

摘要：

利用UV-LIGA工艺制造了一款总体尺寸为60×60mm×300μm、深宽比为6、开孔率高达93％的金属镍网板模具.该网板具有面积大、厚度大及开孔率高等特点.在电铸过程中,为降低大面积网板铸层中的残余应力,采用了兆声辅助微电铸的方法.去胶释放后微细网板结构未出现翘曲变形、分层等问题,满足使用要求.本文研究表明:兆声辅助微电铸方法是制造大面积、大厚度、低应力金属微器件的一种有效方法.

关键词：金属网板、UV-LIGA、兆声辅助、残余应力、微电铸

所属期刊栏目：21

分类号：TG659

资助基金：国家自然科学基金51975103

在线出版日期：2021-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：66-69