模具表面改性新技术--金属用离子注入

摘要：

@@ 早在1952年,美国贝尔实验室已经开始研究用离子束轰击技术来改善半导体特性,六十年代,半导体器件生产的水平进一步提高,迫切要求寻找新的方法研制一些特殊用途的新型器件,于是兴起了离子注入技术.近20年来,在微处理机和计算机存储器的集成电路基片生产中,离子注入已经是半导体材料的一种标准掺杂方法,离子注入方法的可靠性、可控性和重复性使得这项工艺成为半导体工业的支柱.

机标关键词：表面改性、离子注入、新技术

分类号：TG7(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

在线出版日期：2006-06-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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