原子氧对非平衡磁控溅射MoS2-Ti复合薄膜真空摩擦学性能的影响

摘要：

对采用非平衡磁控溅射方法制备的柱状晶MoS2-Ti复合薄膜开展了原子氧(AO)辐照试验.原子氧的平均动能是5 eV,累计辐照通量6.0×1022atoms/cm2.原子氧造成薄膜表面出现"绒毯"状形貌,表层的MoS2和内部的低价钛氧化物分别被氧化成硬质的MoO3和TiO2,但原子氧对距表层30 nm以下Mo的化学态没有影响.薄膜的初始真空摩擦系数和磨损率分别由辐照前的大约0.018和4.49×10-17m3/(N.m)升高至0.03和5.5×10-17 m3/(N.m),磨损机制也发生了由黏着磨损向磨粒磨损的转变.

关键词：MoS2-Ti薄膜;原子氧辐照;真空;化学组成;摩擦机制

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分类号：TH117.3

资助基金：装备预研领域基金项目61409220205

在线出版日期：2022-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：627-635