载荷对氟硅共掺杂类金刚石膜摩擦学性能的影响

摘要：

采用等离子体增强化学气相沉积系统成功制备氟硅共掺杂类金刚石薄膜,采用Raman,XPS对膜层结构与成分进行表征.采用划痕仪对膜层的结合力进行了测试.摩擦测试结果显示,在载荷范围为1～6 N时,膜层具有低摩擦系数(0.05～0.1);在载荷大于6N时,摩擦系数在0.2～0.27之间.对偶磨斑的光学照片显示,在低载下(1～6 N),磨斑上存在明显的转移膜,转移膜导致膜层具有低摩擦系数;在高载下,磨合期磨斑上存在稳定的转移膜,对应于磨合期的低摩擦系数.然而在磨合期后,磨斑表面转移膜消失,结果导致高摩擦系数.

关键词：摩擦系数、类金刚石、载荷、Raman、XPS

所属期刊栏目：36

分类号：TH117.3

资助基金：The project was supported by the Natural Science Foundation of Gansu Province of China 145RJDA329.甘肃省自然科学基金145RJDA329资助.

在线出版日期：2016-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：84-91