nc-TiC/a-C纳米复合多层薄膜的制备及其摩擦学性能的研究

摘要：

采用磁过滤阴极弧等离子体沉积技术,在单晶硅片上制备了不同亚层厚度和亚层弹性模量匹配的nc-TiC/a-C纳米复合多层薄膜,采用X射线粉末衍射仪、扫描电子显微镜和透射电子显微镜对其微观结构进行表征,利用激光扫描仪对其内部应力进行测试,采用微摩擦磨损试验机表征薄膜的摩擦磨损性能,以考察多层结构设计对于薄膜机械性能的影响.结果表明:多层薄膜相对于单层薄膜可以有效降低膜层内应力,同时薄膜的减摩抗磨性能也得到了提高.亚层厚度为40 nm和相邻亚层弹性模量差距较小的nc-TiC/a-C纳米复合多层薄膜的抗磨性能最佳.

关键词：nc-TiC/a-C纳米复合多层薄膜、亚层厚度、亚层弹性模量匹配、摩擦磨损

所属期刊栏目：32

分类号：TH117.1

资助基金：The project was supported the National Key Basic Research Program of China 973 Plan2013CB632303,the Ministry of Education of China Program for Changjiang Scholars and Innovative Research Team in University,PCS IRT1126,and the National Natural Science Foundation of China 51275154.国家重点基础研究发展规划项目“973”计划2013CB632303、中国教育部长江学者和创新团队发展计划PCS IRT1126和国家自然科学基金51275154资助.

在线出版日期：2015-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：190-197