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挡板尺寸对电弧离子镀TiAlN涂层微观结构和摩擦学性能的影响

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利用电弧离子镀技术,采用Ti50Al50合金靶,在304不锈钢基体上沉积TiAlN涂层.在Ti50Al5合金靶和基体挂架中间设置直径分别为80、100和120 mm圆形挡板,并与无挡板沉积的TiAlN涂层对比,采用SEM/EDS、XRD研究挡板尺寸对涂层微观结构、成分的影响,通过显微硬度计、划痕仪和摩擦磨损试验研究挡板尺寸对TiAlN涂层力学性能及摩擦学性能的影响.结果表明:随着挡板尺寸增大,TiAlN涂层中Ti含量逐渐降低,Al含量逐渐升高,涂层表面熔滴数量显著减少,沉积速率降低.增大挡板尺寸后,涂层硬度下降,膜基结合力减小.添加挡板后TiAlN涂层表面凹坑缺陷增多,摩擦系数增大,与无挡板的TiAlN涂层相比,耐磨性显著提高.

电弧离子镀、TiAlN、挡板、微观结构、摩擦学性能

33

TG174.444(金属学与热处理)

国家自然科学基金51005111;江西省创新基金YC2011-S102;The project was supported by the National Natural Science Foundation of China51005111;Innovation funds of Jiangxi Province of ChinaYC2011-S102

2014-01-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共8页

606-613

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摩擦学学报

1004-0595

62-1095/O4

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2013,33(6)

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