直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究

摘要：

采用直流磁控溅射技术制备TiAlCN薄膜,研究了直流电流对TiAlCN薄膜的薄膜成分、微观结构、机械性能和摩擦性能的影响.研究表明:随着直流电流的增加,薄膜中C元素含量逐渐降低；薄膜中无定形碳含量减少,而(Ti,Al)CxN1-x晶粒增加.另外,在低于3.0A直流电流范围内薄膜的表面粗糙度无明显变化,而当直流电流高于3.0A时,薄膜的表面粗糙度随直流电流的增加而显著上升.随着直流电流的增大,薄膜的硬度先增加后降低,而薄膜的摩擦系数则先降低后升高.在直流电流为3.5A时,薄膜的硬度和摩擦系数分别约为22.2 GPa和0.16.

关键词：直流磁控溅射、TiAlCN薄膜、微观结构、硬度、摩擦行为

所属期刊栏目：33

分类号：TG135+.5(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金50905177

在线出版日期：2013-04-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：85-90