MoSx掺杂DLC薄膜的摩擦磨损行为Ⅰ：载荷的影响

摘要：

采用射频等离子体增强化学气相沉积与非平衡磁控溅射复合技术制备了MoSx掺杂的DLC薄膜（a-C：H：Mo：S）,在QG-700摩擦试验机上考察了其在不同载荷下的摩擦磨损行为.通过对摩擦表面的扫描电镜（SEM）观察及能谱（EDS）分析,简单探讨了其摩擦磨损机理.结果表明：随着载荷的增加,a-C：H：Mo：S/Si3N4体系的摩擦系数及磨损率均呈先降后升的趋势,在高速下尤为明显.初步分析认为该现象与摩擦热效应导致的接触层结构转化相关.

关键词：DLC膜、掺杂、摩擦磨损、载荷

所属期刊栏目：32

分类号：TH117.1

资助基金：国家自然科学基金联合基金U1034002;清华大学摩擦学重点实验室开放基金项目SKLTKF11B10

在线出版日期：2012-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：516-523