偏压及测试环境对离子束DLC膜摩擦学行为的影响

摘要：

采用线性阳极层离子束技术制备了类金刚石薄膜（DLC膜）,研究了不同衬底负偏压和测试环境对DLC薄膜摩擦学性能的影响.结果表明：在-50V偏压下,薄膜硬度和弹性模量最大,这主要与薄膜中高的sp3含量相关;衬底负偏压对薄膜在室温大气条件下的摩擦学性能影响不显著,薄膜总体呈现较低的摩擦系数和磨损率,显示出优异的抗磨损性能;线性离子束制备的含氢DLC薄膜的摩擦学行为受湿度及环境气氛影响较大,归因于环境中的氧气和水分造成的摩擦化学反应.

关键词：阳极层离子源、DLC、衬底负偏压、摩擦学行为

所属期刊栏目：31

分类号：TH117.3

资助基金：国家自然科学青年基金项目51005226;宁波市自然科学基金项目2010A610161;固体润滑国家重点实验室开放基金项目0906

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：510-514