单晶硅AFM加工过程的分子动力学模拟

摘要：

采用分子动力学模拟方法对AFM针尖加工单晶硅进行了研究.工件内部硅原子间相互作用力采用Tersoff多体势计算,工件原子和金刚石针尖原子的相互作用力采用Morse对势计算.本文分析了在不同切削深度下系统势能和牛顿层温度变化情况,对切削力、切屑、侧向流原子跟切削深度的关系进行了系统研究,并在此基础上,对金刚石针尖在单晶硅上的切削机理进行了讨论.

关键词：分子动力学、单晶硅、Morse、Tersoff、切削、侧向流原子

所属期刊栏目：31

分类号：TP391.9(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家自然科学基金项目50905178;中国科学院寒区旱区环境与工程研究所中国科学院超级计算兰州分中心的支持

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：328-334