金属掺杂高硬度类石墨薄膜结构及其摩擦学性能研究

摘要：

利用磁控溅射技术制备了不同金属(Ti、Cr、Zr)掺杂类石墨(graphite-like carbon,GLC)薄膜,考察了金属掺杂对薄膜结构及其在不同环境下摩擦学性能的影响.结果表明:Ti、Cr、Zr掺杂促使GLC膜中sp2结构增加,但过快的金属共沉积速率易使薄膜出现柱状生长取向而变得疏松粗糙;高硬GLC膜在大气及水环境中具有良好的环境自适应减摩抗磨作用,适当的金属掺杂可以提高GLC膜硬度并降低其干摩擦系数,但会使其水环境中摩擦系数升高;致密度和硬度对GLC膜耐磨性至关重要,致密而硬的膜层磨损轻微.

关键词：GLC膜、金属、结构、摩擦学性能

所属期刊栏目：31

分类号：TH117.3

资助基金：国家高技术研究发展计划863项目2009AA03Z105;国家自然科学基金50772115和50905178

在线出版日期：2011-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：72-77