核-壳结构PS/CeO_2复合磨料的制备及其氧化物化学机械抛光性能

摘要：

以尤皂乳液聚合方法制备的聚苯乙烯(PS)微球为内核,硝酸铈为铈源,六亚甲基四胺为沉淀剂,采用液相工艺制备了PS/CeO_2复合颗粒.利用XRD、TEM、SAED、FESEM、EDAX等手段,对所制备样品的物相结构、形貌、粒径大小和元素成分组成进行表征.将所制备的复合磨料用于硅晶片热氧化层的化学机械抛光,用AFM观察抛光表面的微观形貌,并测量表面粗糙度.结果表明,所制备的PS/CeO_2复合颗粒具有核-壳结构,呈近似球形,粒径在250～300 nm,PS内核表面被粒径在5～10 nm的CeO_2纳米颗粒均匀包覆,壳层的厚度为10～20 nm.抛光后的硅热氧化层表面在5 μm×5μm范围内粗糙度R_a值和RMS值分别为0.188 nm和0.238 nm,抛光速率达到461.1 nm/min.

关键词：PS/CeO_2复合磨料、核-壳结构、包覆、化学机械抛光

所属期刊栏目：30

分类号：TB383(工程材料学)

在线出版日期：2010-04-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：9-14