Ce0.8Zr0.2O2固溶体磨料对ZF7光学玻璃抛光性能的改善

摘要：

采用改进的湿固相机械化学反应法制备出超细锆掺杂氧化铈磨料Ce1-xZrxO2(x=0,0.2),运用X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)等手段表征其物相类型、外观形貌、比表面积、粒度、表面电位等物理性质,通过测定抛光速率和观察表面的微观形貌考察它们对ZF7光学玻璃的抛光性能影响.结果表明,Ce0.8Zr0.2O2固溶体磨料对ZF7光学玻璃抛光性能比纯CeO2磨料有明显的提高,抛光速率达到463 nm/min,5.0 μm×5.0 μm的范围内微观表面粗糙度Rα值达到1.054 nm,而纯CeO2磨料的抛光速率只有292 nm/min,Rα值却增大到1.441 nm.Ce0.8Zr0.2O2固溶体的抛光速率的明显增大和表面粗糙度Rα的下降主要与其负表面电位的增大和颗粒尺寸、粒度的减小密切相关.

关键词：湿固相机械化学反应法、Ce0.8Zr0.2O2固溶体、化学机械抛光、ZF7光学玻璃

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分类号：O614.33;O614.41(无机化学)

资助基金：国家自然科学基金201610002;江西省主要学科学术带头人计划;江西省自然科学基金

在线出版日期：2009-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：180-185