纳米弹性复合DLC薄膜的制备及其摩擦性能研究

摘要：

利用磁过滤阴极真空弧沉积系统在硅片及以硅片为基底的2种弹性体材料表面沉积厚度为2.7 nm的DLC膜,采用原子力显微镜和拉曼光谱仪对薄膜的形貌及成分进行分析,用纳米力学测试系统测量薄膜的弹性模量和硬度,用UMT-2型多功能微摩擦磨损试验机考察其摩擦性能.结果表明,以γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷(187)为偶联剂的薄膜试样表面比以γ-氨丙基三乙氧基硅烷(APS)为偶联剂的薄膜试样表面更致密且粗糙度更低,薄膜的最上层为DLC膜.在硅表面沉积DLC薄膜可以显著降低其表面的摩擦系数(0.117～0.137),在低载荷条件下,含偶联剂及弹性体的DLC薄膜的摩擦系数低于硅表面沉积DLC的薄膜,且以187为偶联剂的薄膜试样的摩擦性能更佳;在高载荷条件下,硅表面沉积DLC的薄膜具有更优异的摩擦性能.

关键词：磁过滤阴极真空弧沉积系统(FCVA)、弹性复合薄膜、DLC膜、偶联剂、摩擦性能

所属期刊栏目：28

分类号：TH117.3

资助基金：国家自然科学基金资助项目50475124;新世纪优秀人才计划资助项目NCET-04-0515;江苏大学博士生创新基金项目资助CX07B-03X

在线出版日期：2008-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：207-212