磁过滤阴极弧制备类金刚石膜的疲劳性能及摩擦磨损性能研究

摘要：

利用离面双弯曲磁过滤阴极真空弧沉积系统,在单晶硅片上制备类金刚石薄膜.采用原子力显微镜观察薄膜表面形貌,采用激光拉曼光谱仪对薄膜的结构进行分析,采用多功能纳米力学性能测试仪测定薄膜的硬度、弹性模量及耐疲劳性能,采用微摩擦磨损试验机考察薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:所制备的类金刚石薄膜表面光滑致密,硬度较高;镀膜参数中基体脉冲偏压占空比对薄膜的结构与性能有一定影响.

关键词：FCVA、类金刚石碳薄膜、疲劳性能、摩擦磨损性能

所属期刊栏目：27

分类号：TH117.3

资助基金：国家自然科学基金50390062;50575121;Electro-Mechanic Technology Advancing Foundation of NSK Ltd. of Japan

在线出版日期：2007-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：297-302