Al/AlN多层膜的摩擦磨损性能研究

摘要：

采用柱状靶磁控溅射系统制备Al/AlN纳米多层膜,采用纳米压痕仪测量Al/AlN纳米多层膜的纳米硬度,在UMT-2M型摩擦磨损试验机上评价其摩擦磨损性能.结果表明:当AlN层较厚时,薄膜在很短时间内被磨穿;调节Al/AlN层厚比为2.9/1.1时,薄膜的摩擦磨损性能明显提高;当保持Al/AlN层厚比为2.9/1.1、变化多层膜的调制周期时,薄膜的摩擦系数较低,但硬度较低的薄膜由于承载能力不够,不能够保持优良的摩擦磨损性能.

关键词：磁控溅射、Al/AlN多层膜、摩擦磨损性能

所属期刊栏目：27

分类号：TH117.3

资助基金：甘肃兰州理工大学有色金属新材料国家重点实验室培育基地开放课题SKL04001;国家自然科学基金60376039

在线出版日期：2007-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：204-209