MoS2/WS2共溅射复合薄膜的微结构及其摩擦磨损性能研究

摘要：

采用磁控溅射共溅射法制备MoS2/WS2复合润滑薄膜,利用X射线衍射仪、X射线能谱仪及透射电子显微镜对薄膜的成分和结构进行分析,采用UMT-2MT型微摩擦磨损试验机在大气(相对湿度45%～50%)和室温(20～25 ℃)环境下评价薄膜的摩擦磨损性能.结果表明,MoS2/WS2复合薄膜结构致密,具有较好抗氧化性,其耐磨寿命、摩擦稳定性和抗载荷能力比MoS2磁控溅射薄膜均有显著提高,而摩擦系数更低.

关键词：MoS2、WS2、磁控溅射、摩擦磨损性能

所属期刊栏目：27

分类号：TQ174;TH117.3

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2003CB716200;国家自然科学基金50675131

在线出版日期：2007-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：41-44