类金刚石多层膜在不同环境下的摩擦磨损行为研究

摘要：

采用等离子体辅助化学气相沉积法在单晶硅表面制备由硬/软亚层交替构成的类金刚石多层膜,通过调整工艺参数获得亚层厚度在25～1 000 nm之间的DLC多层膜,采用球-盘摩擦磨损试验机探讨了DLC多层膜在真空、氧气及干燥空气下的摩擦磨损行为.结果表明,在不同摩擦环境下,多层结构对DLC多层膜的摩擦系数影响较小,但对其磨损率影响较大.多层结构可以有效抑制DLC膜的磨损,特别是在氧气和干燥空气环境中,DLC多层膜的磨损率明显低于DLC单层膜.特定亚层厚度的DLC多层膜在不同摩擦环境中均具有稳定的耐磨性能,磨损率约在10-8mm3/Nm数量级.

关键词：类金刚石膜、多层膜、摩擦磨损性能

所属期刊栏目：26

分类号：TG174.444;TH117.3(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金50575224

在线出版日期：2006-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：510-514