掺杂不同钛含量氮化锆薄膜的制备及其摩擦性能研究

摘要：

采用非平衡磁控溅射技术制备含不同钛含量的氮化锆(Zr-Ti-N)复合薄膜材料,并研究薄膜基本特性及其摩擦磨损性能.结果表明:随着Ti含量增加,Zr-Ti-N薄膜硬度有所提高;在Ti含量为18.7 at.%时,薄膜的硬度达到最大值2 483HK0.025;当添加16.5 at.%Ti时,硬度值略有降低,但临界载荷最高,耐磨性最佳.

关键词：复合材料、Zr-Ti-N 薄膜、摩擦磨损性能

所属期刊栏目：26

分类号：TH117.3

资助基金：台湾科技厅科研基金NSC-92-2212-E-006-127

在线出版日期：2006-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：413-416