摩擦电化学与摩擦电化学研磨抛光研究进展

摘要：

评述了水基介质和非水基介质中摩擦电化学的研究现状和进展,总结了摩擦电化学控制机理,进而在总结分析硬脆材料研抛机理的基础上提出摩擦电化学研抛原理,指出摩擦电化学研抛可望成为微电子基材高效研抛与平坦化的关键技术.

关键词：摩擦电化学、腐蚀磨损、摩擦控制、摩擦电化学研抛

所属期刊栏目：26

分类号：TH117.2;TG115.5

资助基金：黑龙江省博士后科研启动基金ABQQ24408004

在线出版日期：2006-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：92-96