相对湿度对类金刚石薄膜摩擦磨损性能的影响

摘要：

利用等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了含氢类金刚石薄膜,在球-盘摩擦磨损试验机上考察了相对湿度对薄膜摩擦磨损性能的影响,利用扫描电子显微镜和X射线光电子能谱仪观察和分析其磨损表面形貌和化学状态的变化情况.结果表明,随着相对湿度增加,DLC薄膜的摩擦系数和磨损率增加.这主要是由于薄膜表面氧化作用所致.

关键词：类金刚石薄膜、摩擦磨损性能、相对湿度

所属期刊栏目：25

分类号：TH117.3

资助基金：国家自然科学基金50323007;国家高技术研究发展计划863计划2003AA305670

在线出版日期：2005-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：426-430