用侧向力显微镜对不同非晶态GeSbTe薄膜的摩擦性能研究

摘要：

采用侧向力显微镜研究了磁控溅射方法制备的GeSbTe薄膜在大气环境中的纳米级摩擦性能,考虑了相对湿度、扫描速度及表面粗糙度对其摩擦性能的影响,对比不同成分的GeSbTe薄膜的摩擦特性.结果表明:在相对湿度较大时,扫描速度对针尖和GeSbTe薄膜之间的摩擦力影响很大;在其它条件相同、外加载荷较大时,同一载荷下的摩擦力与表面粗糙度呈线性关系,但在外加载荷较小的情况下,二者呈现非线性变化规律;相对湿度对Ge2Sb2Te5薄膜和针尖的粘附力影响较GeSb2Te4薄膜弱,且粘附力使得摩擦系数减小;在同一相对湿度下,由于薄膜成分的变化导致硬度不同,其对薄膜的摩擦性能也有一定影响.

关键词：侧向力显微镜(LFM)、GeSbTe薄膜、摩擦、粘附

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分类号：TG174.44;TH117.3(金属学与热处理)

资助基金：全国高等学校优秀博士学位论文作者专项基金200330;江苏大学校科研和教改项目1291400001;江苏省教育厅科研项目03KJD460066

在线出版日期：2005-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：421-425