磁控溅射氮化钛/氮化铝纳米多层膜的抗磨性能及其在金属加工刀具中的应用研究

摘要：

采用新型高速反应真空磁控溅射系统制备了氮化钛/氮化铝纳米多层膜,探讨了周期(λ)对多层膜力学性能及抗磨性能的影响;在微钻针及车刀表面分别制备了上述多层膜,并分别对电路板以及中碳钢棒进行实机加工测试,以验证其实用性.结果表明:通过控制溅射参数可以制备出周期范围为2.4～67.6nm的氮化钛/氮化铝多层膜;当周期λ≤3.6nm时,相应的多层膜具有较高的硬度、良好的粘附性能及优异的抗磨性能.实机测试结果显示,所制备的多层膜可以改善金属车削和微钻削加工条件,改善程度优于单层氮化钛镀膜.

关键词：氮化钛/氮化铝纳米多层膜、周期、耐磨性、车削、微钻削

所属期刊栏目：25

分类号：TH117.3

资助基金：台湾省科学委员会资助项目NSC92-2212-E-309-001

在线出版日期：2005-07-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：258-264