等离子体浸没离子注入与沉积合成碳化钛薄膜的摩擦磨损性能研究

摘要：

将等离子体浸没离子注入与沉积及射频辉光放电技术相结合,在GCr15轴承钢基体表面制备了碳化钛薄膜,考察了注入脉冲宽度和工作气体压力对薄膜性能和化学组成的影响;利用X射线衍射仪(XRD)、维氏硬度计、多功能摩擦磨损试验机和电化学腐蚀试验装置表征了薄膜试样的相组成、显微硬度、摩擦磨损性能和抗腐蚀性能.结果表明,注入脉冲宽度和工作气体压力对薄膜性能及其组成具有显著影响;GCr15钢经改性处理后抗磨性能和抗腐蚀性能显著改善.这是由于基体表面形成了硬质且致密的TiC薄膜改性层所致.

关键词：轴承钢、等离子体浸没离子注入与沉积、碳化钛薄膜、摩擦磨损性能

所属期刊栏目：24

分类号：TG172.44;TH117.3(金属学与热处理)

资助基金：国防预研基金7001028

在线出版日期：2005-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：493-497